上海新昇电子拉晶炉顺利制造300mm IC 级晶圆柱体

发布时间:2016-11-04    信息来源:超级管理员

  10月31日,工业工程公司承建的上海新昇电子工程一期项目1#拉晶厂房拉晶炉顺利制造出300mm IC 级晶圆柱体,为下一步硅片的滚圆、切割、研磨、抛光、清洗、外延奠定了坚实的基础。

  1#拉晶厂房建筑占地面积4591.36㎡,总建筑面积6517.12㎡,1-3轴线为框架结构四层,4-12轴线为钢结构一层,总轴线长84m,共1-12轴线,基本柱距9m,轴线宽带54m,共A-G轴。


   (信息来源:工业工程公司  王孟)